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  • TEBO兆声波清洗设备

    应用于无损伤微小缺陷去除工艺，及更精细的高纵横比的3D结构

  • 单晶圆清洗设备

    应用于先进集成电路制造，包罗逻辑电路，存储器以及功率器件制造

  • TAHOE清洗设备

    应用于去胶和先进清洗

  • 反面清洗设备

    应用于反面清洗或者湿法刻蚀工艺

  • 电镀设备

    应用于晶圆级封装

  • 刷洗设备

    应用于集成电路与晶圆级封装领域
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