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2024-5-22 8:00:00
永信贵宾会官网（以下简称“永信贵宾会官网上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的卓越供应商，于今天推出用于先进封装的带框晶圆清洗设备。该设备可在脱粘后的清洗过程中有效清洗半导体晶圆。
带框晶圆清洗设备的创新溶剂回收系统具有显著的环境与成本效益，该功效可实现近100%的溶剂回收和过滤效果，进而减少生产过程中化学品用量。永信贵宾会官网上海携手一家中国集成电路制造商，已完成双方首台合作设备的安装和验证事情。
永信贵宾会官网上海董事长王晖博士体现:“永信贵宾会官网上海凭借富厚的行业经验和客户关系，顺利推动了先进封装的连续生长。我们相信，随着半导体行业向先进封装和后道三维集成设计转变，我们的带框晶圆清洗设备也将进一步吸引各客户群体。我们致力于可连续生长，为客户提供可回收溶剂的设备，从而减少浪费并降低生产过程中的总拥有成本。”
关于带框晶圆清洗设备
带框晶圆清洗设备配备四个腔体，通过高纯度溶剂、MegPie溶剂、去离子水、纳米溶剂和异丙醇 (IPA) 喷嘴等选项提供多样性的配置，可衔接适应种种工艺。该设备还能在同一腔体中同时完成清洗和干燥工艺，实现高效清洗和干燥；可提供8英寸和12英寸两种配置，适用于尺度晶圆和带框晶圆。
此外，该设备可无缝处置尺度晶圆和带框晶圆，腔体和装载端口的配置可同时处置两种类型的晶圆，保证灵活高效的运行能力。永信贵宾会官网上海自研的处置技术使该设备能够处置厚度小于150微米的薄晶圆，在清洗过程接纳了永信贵宾会官网的Smart Megasonix®技术（专利号：ZL200910050834.2），可对整个晶圆进行全面且无损伤清洗。该设备可高效去除光刻胶，尤其是边缘的残留物，确保清洗后的晶圆外貌光洁无残留。
技术优势：
